焚烧法只在挥发性有机物在高温及空气充足的条件下进行焚烧，分解为CO2和H2O。焚烧法适用于各类有机废气，能够分为直接焚烧、热力焚烧和催化焚烧。排放浓度大于5000mg/m³ 的高浓度废气一般选用直接焚烧法，该方法将VOCs废气作为燃料进行焚烧，焚烧温度一般控制在1100℃，处理效率高，能够达到95％一99％。

热力焚烧法合适于处理浓度在1000—5000 mg/m³ 的废气，选用热力焚烧法，废气中VOCs浓度较低，需求凭借其他燃料或助燃气体，热力焚烧所需的温度较直接焚烧低，大约为540—820℃。焚烧法处理VOCs废气处理效率高，但VOCs废气若含有S、N等元素，焚烧后发生的废气直接外排会导致二次污染。

通过热力焚烧或者催化焚烧法处理有机废气，其净化率是比较高的，可是其出资运营成本很高。因废气排放的点多且涣散，很难实现会集搜集。焚烧装置需求多套且需求很大的占地面积。热力焚烧比较合适24小时接二连三运行且浓度较高而安稳的废气工况，不合适间断性的生产产线工况。催化焚烧的出资和运营费用相对热力焚烧较低，但净化效率也相对较低一些；但贵金属催化剂容易由于废气中的杂质（如硫化物）等造成中毒失效，而替换催化剂的费用很高；一起对废气进气条件的控制十分严格，否则会造成催化焚烧室阻塞而引起安全事故。

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